Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。广泛应用于生物医学（如内窥镜硅胶线镀膜）、航空航天、印制电路组件、高密集度小型化产品、微电子集成电路、微电子机械系统(MEMS)、半导体、传感器、光学器件和文物档案保护等领域。