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派瑞林纳米防水镀膜

专注表面防护解决方案

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微电子机械系统（MEMS）
微电子机械系统（MEMS）
　　Parylene能在0。2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
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